光刻機(jī)干涉儀的維護(hù)和保養(yǎng)

做為一種非常精密的檢測(cè)儀器，應(yīng)在日常使用中對(duì)其進(jìn)行基本維護(hù)和保養(yǎng)，盡量保證其測(cè)量精度，延長其使用壽命。

注意：

1.儀表應(yīng)該放在干燥，清潔，無振動(dòng)的環(huán)境中使用。

2.在移動(dòng)光刻機(jī)干涉儀時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)將其托起，再移動(dòng)。

3.不使用時(shí)，儀器光學(xué)部分應(yīng)放置于干凈干燥的器皿中，以防霉變。

4.試著不要去取儀器的反射鏡，分光鏡等，如果要取的話，一定要小心，用科學(xué)的方法清洗。

5.傳動(dòng)件，例如導(dǎo)軌，絲桿，螺母，軸孔等，應(yīng)該保持良好的密封。因此如有需要，應(yīng)采用精密儀表。

6.在使用過程中應(yīng)避免強(qiáng)旋，硬扭等情況，合理調(diào)整零件。

7.防止導(dǎo)軌面絲桿刮傷或腐蝕，使之不失油。

日常維護(hù)：

1.應(yīng)妥善放置于干燥、清潔的室內(nèi)，防止震動(dòng)，儀表移動(dòng)時(shí)應(yīng)托起托輪，以防導(dǎo)軌變形。光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放于清潔干燥盆中，以防止霉變。反射器、分光鏡一般都是不允許使用的，在需要使用時(shí)，要先用備件毛刷仔細(xì)撣去灰塵，再用脫脂棉擦拭干凈的棉球，然后滴上乙醇和乙醚的混合物。

2.傳動(dòng)部件應(yīng)具有良好的耐久性。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母及軸孔部分，均采用精密油表。

3.使用時(shí)，各調(diào)節(jié)部位要用力適度，不可強(qiáng)旋、硬拉。

4.導(dǎo)軌面絲桿要防刮、防銹，用完后，要保持不失油。

5.儀器零件經(jīng)精密調(diào)整后，應(yīng)涂紅漆，不得隨意轉(zhuǎn)動(dòng)。